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壓電掃描臺(tái)是由壓電疊堆陶瓷驅(qū)動(dòng)的、電壓信號(hào)控制、可產(chǎn)生微納米級(jí)步進(jìn)及位移的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。芯明天壓電掃描臺(tái)步進(jìn)精度一般可達(dá)約3nm，運(yùn)動(dòng)范圍約0~500μm ，壓電掃描臺(tái)的運(yùn)動(dòng)方向可分為X向、Z向、XY向或XYZ向運(yùn)動(dòng)。

壓電掃描臺(tái)是壓電納米定位臺(tái)的一種，主要的不同是在中心增加了通孔，更適于透光應(yīng)用。

以下為芯明天公司生產(chǎn)的幾種典型壓電掃描臺(tái)。

P78.Z300壓電掃描臺(tái)集成于顯微聚焦系統(tǒng)

P78.Z300壓電掃描臺(tái)是產(chǎn)生Z向運(yùn)動(dòng)的壓電掃描臺(tái)，它的Z向運(yùn)動(dòng)范圍可達(dá)300μm，步進(jìn)分辨率可達(dá)5nm，非常適于顯微成像調(diào)節(jié)。

P78.Z300壓電掃描臺(tái)基本技術(shù)參數(shù)如下：

· 行程范圍：300μm 

· 運(yùn)動(dòng)方向：Z向

· 分辨率：5nm

· 承載能力：0.5kg

· 通孔尺寸：64×64mm

· 外形尺寸：100×100×30mm

為方便P78.Z300壓電掃描臺(tái)帶載樣品，可加工制作轉(zhuǎn)接裝置，如果您自己進(jìn)行加工，轉(zhuǎn)接裝置加工的平面度、粗糙度、平行度等要足夠高，才能保證不影響樣品聚焦精度，另外要注意轉(zhuǎn)接裝置也是壓電掃描臺(tái)的負(fù)載，需考慮其與樣品的總質(zhì)量在壓電掃描臺(tái)的負(fù)載能力范圍。下圖為一種簡單的轉(zhuǎn)接裝置。

在標(biāo)準(zhǔn)顯微成像系統(tǒng)中，一般步進(jìn)精度達(dá)不到納米量級(jí)，在顯微成像系統(tǒng)中集成P78.Z300壓電掃描臺(tái)，可大幅提高聚焦的精度。

下圖中，左圖為一個(gè)未集成壓電掃描臺(tái)且物鏡倒置使用的成像系統(tǒng)；右圖為在此成像系統(tǒng)中集成了P78.Z300壓電掃描臺(tái)后的外觀效果。該系統(tǒng)的空間充足，對(duì)壓電掃描臺(tái)的高度無特殊限制。而對(duì)于空間受限的成像系統(tǒng)，可選用芯明天P12、N12、P79或P11等壓電掃描臺(tái)，具有更低的高度，集成所需空間更小。

在成像系統(tǒng)中集成壓電掃描臺(tái)的優(yōu)勢(shì)

1、大幅提高聚焦精度，達(dá)納米量級(jí)

2、成本大幅降低

3、電壓信號(hào)控制，聚焦速度快，達(dá)亞毫秒至毫秒量級(jí)

4、易集成，安裝便捷，可定制