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新品介紹|XD107系列壓電掃描臺 - 三維納米運動

更新時間： 2022-07-20

XD107系列壓電掃描臺是一款定制設計的三維運動的壓電平臺，具有特殊的負載安裝孔位。它的中心具有50×50mm方形通孔，適用于樣品顯微成像/掃描、微納米范圍的對準、納米聚焦、測量等應用。

XD107系列壓電掃描臺內(nèi)部采用機構放大式驅(qū)動原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷、無摩擦柔性鉸鏈導向機構，可實現(xiàn)XY向100μm/軸、Z向80μm位移。具有非常高的控制精度，分辨率和穩(wěn)定性都可達nm級，定位響應時間也可達ms級。

該壓電掃描臺可根據(jù)應用需求選配閉環(huán)傳感器，以獲取更高的精度。

產(chǎn)品特點

•XYZ三維運動

•行程可達100μm

•承載能力0.4kg

•中心通孔50×50mm

產(chǎn)品應用

•掃描顯微鏡

•掩模/晶圓定位

•干涉、度量衡學

•生物技術

•微操作

引線連接器

XD107系列壓電掃描臺的連接器共有2組，每組有3個，一組用于電壓驅(qū)動信號的傳輸，一組用于傳感反饋信號的傳輸。連接器的配置主要取決于所選配的壓電控制器的連接器類型。XD107系列的連接器是為了匹配芯明天E00/E01系列壓電控制器（下方右圖），若更換其他壓電控制器，可更換為其他相應的連接器類型。