P12系列壓電掃描臺為壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)、1~3維并聯(lián)式平移掃描臺，臺體中心圓形通孔孔徑可選25mm或35mm，滿足顯微等應(yīng)用。壓電掃描臺可以實(shí)現(xiàn)單軸320μm的位移行程，一體式結(jié)構(gòu)使得多維運(yùn)動(dòng)無耦合、多種規(guī)格型號可選，以滿足不同應(yīng)用的需求。 P12.X/Z-D3為一維X或Z軸運(yùn)動(dòng)壓電掃描臺，結(jié)構(gòu)緊湊，外形尺寸70×70×24mm，zui大行程可達(dá)110μm。壓電驅(qū)動(dòng)、無摩擦、柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)使得這一系列產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)納米級的分辨率，毫秒級的響應(yīng)時(shí)間，臺體中心中孔尺寸達(dá)Φ35mm，非常適合于顯微及掃描中的樣品定位。 特性 • 一維X/Z向運(yùn)動(dòng)，zui大行程110μm/軸 • zui大承載0.7kg • 通孔尺寸：Ø35mm(Ø25mm可選 ) • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 • 響應(yīng)速度快 外觀形狀 | P12.X-D3運(yùn)動(dòng)示意圖 | P12.Z-D3運(yùn)動(dòng)示意圖 | 
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小體積、大位移、中心通孔 | 頻率負(fù)載曲線 | P12.Z300閉環(huán)穩(wěn)定時(shí)間圖 | P12系列壓電掃描臺采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，超小的體積外形，尺寸僅為70×70×24mm，P12.X/Z-D3可以實(shí)現(xiàn)zui大110μm/軸的掃描范圍，中心通孔可選35mm或25mm，25mm通孔對應(yīng)臺體外形尺寸為60×60×24mm。 臺體采用FEA有限元分析優(yōu)化設(shè)計(jì)，具有零摩擦、超高導(dǎo)向精度、納米級分辨率等優(yōu)點(diǎn)。 P12系列壓電掃描臺內(nèi)置高可靠性表面絕緣壓電陶瓷，確保了掃描臺的可靠性與穩(wěn)定性。 | 
| P12系列壓電掃描臺具有優(yōu)異的階躍穩(wěn)定性，下圖為P12.Z300zui大位移320μm閉環(huán)穩(wěn)定時(shí)間圖。 
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應(yīng)用 • 圖像處理與穩(wěn)定 • 精密定位 •光學(xué)捕獲 • 掃描顯微 • 干涉/計(jì)量 • 半導(dǎo)體測量 • 表面檢測 • 光學(xué)計(jì)量 • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 掩模/晶圓定 • 生物技術(shù) • 表面結(jié)構(gòu)分析 P12全系列產(chǎn)品 P12系列壓電掃描臺包括X/XY/XZ/XYZ四種運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)形式，可以滿足1~3維大行程掃描或定位的應(yīng)用需求。同時(shí)，P12具有兩種通孔直徑可供選擇，分別為25mm、35mm。 中孔直徑25mm版本： 
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| P12.X一維 110μm運(yùn)動(dòng)范圍 | P12.Z一維 110/210/320μm運(yùn)動(dòng)范圍 | P12.XY二維 110μm/軸運(yùn)動(dòng)范圍 | P12.XZ二維 110μm/軸運(yùn)動(dòng)范圍 | P12.XYZ三維 110μm/軸運(yùn)動(dòng)范圍 |
中孔直徑35mm版本： 
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| | | P12.X/Z-D3一維 110μm運(yùn)動(dòng)范圍 | P12.XY/XZ-D3二維 110μm運(yùn)動(dòng)范圍 | P12.XYZ-D3三維 110μm運(yùn)動(dòng)范圍 | | |
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