XP-780 系列壓電掃描臺采用機構(gòu)放大設(shè)計原理，柔性鉸鏈連接支撐傳動，內(nèi)部采用高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動，實現(xiàn)X 軸可達(dá) 200μm 的位移，可配置閉環(huán)傳感實現(xiàn)高精度掃描與定位。壓電平臺具有25mm×25mm 的通孔，適用于光學(xué)掃描。平臺可以通過疊加轉(zhuǎn)接的方式實現(xiàn)二維、三維運動。
?大行程、高精度、大負(fù)載
XP-780 系列大行程壓電掃描臺采用機構(gòu)放大設(shè)計原理，可以實現(xiàn) 200μm 的位移行程，無摩擦無空回的柔性導(dǎo)向機構(gòu)使其具有超高的分辨率，選擇配置閉環(huán)傳感器可實現(xiàn)納米級的定位精度，臺體通孔使其適用于顯微掃描等應(yīng)用。優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計使其具有非常高的剛度，承載能力大，可帶載 5kg 的樣品做精密定位。
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